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產(chǎn)品展示/ Product display

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大型步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱半導(dǎo)體行業(yè)用

大型步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱半導(dǎo)體行業(yè)用專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，用于芯片封裝、晶圓制造設(shè)備、集成電路模塊等大型半導(dǎo)體產(chǎn)品的環(huán)境可靠性測試

  • 產(chǎn)品型號(hào)：WTH-A
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2025-08-01
  • 訪  問  量：212
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詳細(xì)介紹

生產(chǎn)廠家廣東皓天檢測儀器有限公司擁有專業(yè)的生產(chǎn)研發(fā)技術(shù)，一站式周到服務(wù)。作為一家專注于試驗(yàn)設(shè)備產(chǎn)品的大型儀器制造商，皓天設(shè)備致力于為消費(fèi)者提供技術(shù)、品質(zhì)的優(yōu)秀產(chǎn)品。

大型步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱半導(dǎo)體行業(yè)用

產(chǎn)品性能

采用無塵級(jí)風(fēng)道設(shè)計(jì)，氣流經(jīng) HEPA 高效過濾后層流輸送（風(fēng)速 0.3~0.5m/s），避免塵埃污染半導(dǎo)體器件。溫濕度過渡響應(yīng)時(shí)間≤5 分鐘，在 - 40℃~125℃循環(huán)測試中，溫度超調(diào)量≤0.5℃。設(shè)備可連續(xù)運(yùn)行 5000 小時(shí)，測試數(shù)據(jù)重復(fù)性，確保芯片漏電率、封裝應(yīng)力等關(guān)鍵參數(shù)檢測的精準(zhǔn)性。


大型步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱半導(dǎo)體行業(yè)用


大型步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱半導(dǎo)體行業(yè)用

核心優(yōu)勢

  1. 超高控制精度：溫度波動(dòng)度達(dá) ±0.2℃，濕度控制精度 ±1% RH，滿足半導(dǎo)體器件對微環(huán)境變化的嚴(yán)苛敏感需求。

  1. 無塵環(huán)境兼容：內(nèi)部采用 316L 不銹鋼鏡面內(nèi)膽，配備高效除塵系統(tǒng)，符合半導(dǎo)體行業(yè)無塵測試標(biāo)準(zhǔn)。

  1. 抗干擾設(shè)計(jì)：電氣系統(tǒng)采用電磁屏蔽技術(shù)，避免溫濕度控制模塊對半導(dǎo)體器件的電磁干擾，測試過程中信號(hào)噪聲≤-90dB。


大型步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱半導(dǎo)體行業(yè)用


產(chǎn)品優(yōu)勢

  1. 行業(yè)定制化：工作室可集成防靜電地面（電阻 10?~10?Ω）、氮?dú)獗Ｗo(hù)接口，適配半導(dǎo)體產(chǎn)品的特殊測試需求。

  1. 能效優(yōu)化：采用變頻制冷壓縮機(jī)與熱回收技術(shù)，在 85℃/85% RH 工況下能耗較傳統(tǒng)機(jī)型降低 30%，符合半導(dǎo)體行業(yè)綠色生產(chǎn)要求。

  1. 安全冗余：配備氣體泄漏檢測、超溫聯(lián)鎖保護(hù)、緊急斷電系統(tǒng)，通過 SEMI S2 安全認(rèn)證，保障高價(jià)值半導(dǎo)體器件的測試安全。

  2. 大型步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱半導(dǎo)體行業(yè)用

用途

專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，用于芯片封裝、晶圓制造設(shè)備、集成電路模塊等大型半導(dǎo)體產(chǎn)品的環(huán)境可靠性測試?？赡M無塵車間溫濕度波動(dòng)、運(yùn)輸過程氣候、長期運(yùn)行高濕環(huán)境等場景，評估半導(dǎo)體器件的電學(xué)性能穩(wěn)定性、材料耐老化性及封裝密封性，滿足 JEDEC JESD22-A101、IPC-9701 等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，為半導(dǎo)體產(chǎn)品的研發(fā)、量產(chǎn)質(zhì)檢提供數(shù)據(jù)支撐。

大型步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱半導(dǎo)體行業(yè)用

技術(shù)參數(shù)

  • 溫度范圍：-70℃~150℃（覆蓋半導(dǎo)體全生命周期測試溫區(qū)）；

  • 濕度范圍：5%~95% RH，波動(dòng)度 ±1% RH，均勻性≤2% RH；

  • 溫度波動(dòng)度 ±0.2℃，均勻性≤1℃；

  • 工作室容積：30~300m3（可容納完整晶圓傳送系統(tǒng)）；

  • 升降溫速率：0.1~5℃/min（支持步進(jìn)式精密調(diào)節(jié)）；

  • 潔凈等級(jí)：Class 1000（內(nèi)部塵埃粒子≤3520 particles/m3@0.5μm）；

  • 電源：380V/50Hz（配備穩(wěn)壓電源，電壓波動(dòng)≤±1%）。


大型步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱半導(dǎo)體行業(yè)用


溫度控制系統(tǒng)
采用半導(dǎo)體級(jí) PLC 控制系統(tǒng)，搭配 10 英寸防菌觸摸屏，支持 2000 段可程式運(yùn)行，內(nèi)置 JEDEC 標(biāo)準(zhǔn)測試模板。搭載 16 點(diǎn)分布式鉑金電阻傳感器（精度 ±0.05℃），結(jié)合 PID + 模糊控制算法，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)溫度調(diào)節(jié)響應(yīng)。系統(tǒng)具備與 MES 系統(tǒng)對接功能，支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)加密上傳、遠(yuǎn)程監(jiān)控及測試流程追溯，滿足半導(dǎo)體行業(yè)數(shù)據(jù)合規(guī)要求。



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